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一、當(dāng)正在鍍膜時真空度突然下降
1.蒸發(fā)源水路膠罔損環(huán)(更換膠罔)
2.坩堝被打穿(更換坩堝)
3、高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈)
4.工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞(更換膠圈)
5、預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥)
6、高閥突然關(guān)閉可能是=位五通閥損壞(更換二位五通閥)
7.機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常)
8、烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠罔)
9.擋板動密封處膠固損壞(更換膠園)
10. 玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂(更換玻璃)